[发明专利]一种THz光电探测器绝对光谱响应率校准装置及方法

摘要

本发明提出了一种THz光电探测器绝对光谱响应率校准装置及方法。本发明通过CO₂泵浦气体THz激光器、汇聚透镜、衰减器、主标准电替代辐射计、电控位移导轨系统、隔离罩、电测仪表和数据采集与控制系统实现，可实现THz光电探测器在THz波段内多频率点的绝对光谱响应率校准，从而解决THz功率的高精度测量问题，为重大工程的顺利开展和THz器件及设备的研制提供有力保障。

主权项

一种THz光电探测器绝对光谱响应率校准装置，其特征在于，包括：CO₂泵浦气体THz激光器、汇聚透镜、衰减器、电替代辐射计、电控位移导轨系统、隔离罩、电测仪表和数据采集与控制系统；所述CO₂泵浦气体THz激光器为THz源，在其出射口设置汇聚透镜；所述衰减器设置在电替代辐射计前面，对THz波进行衰减；所述电替代辐射计为主标准探测器，所述电控位移导轨系统移动被测探测器到主标准探测器的位置，使两探测器的入射孔位置等同；所述隔离罩包裹电替代辐射计和被测探测器；所述数据采集与控制系统控制电控位移导轨系统，并将电测仪表采集到的信号进行数据分析处理，输出被测探测器的绝对光谱响应曲线；所述电替代辐射计包括辐射吸收元件、电热丝和温度敏感元件，电替代辐射计外面还加设有用隔热材料制作的热屏蔽罩；所述辐射吸收元件采用平面吸收层结构，且在吸收层表面设置一个顶端开有圆孔的半球状反射罩，所述吸收层与热电堆相连接，电压表检测热电堆输出的热电势；电源、开关和设置在所述吸收层接收面上的电热丝构成闭合回路。