[发明专利]电磁驱动型波长可调法布里-珀罗光滤波器

摘要

本发明公开了一种电磁驱动型波长可调法布里-珀罗光滤波器，包括两个相对设置的第一波导结构和第二波导结构，利用电磁场作用力改变两个波导结构之间的距离实现波长可调。其中，第一波导结构包括第一波导，该第一波导外套设有圆筒形永磁体，该圆筒形永磁体外设有电磁线圈；该第一波导的端面上放置有高反射结构层，固定于金属薄膜弹片上。本发明采用电磁力这一新的驱动方式以改变法布里-珀罗谐振腔的长度实现波长调谐，不仅充分发挥了法布里-珀罗型可调谐滤波器的优点，还有效克服了压电陶瓷驱动方案的多种弊病，提升了产品的一致性，降低了生产难度和成本。

主权项

一种电磁驱动型波长可调法布里‑珀罗光滤波器，其特征在于，包括两个相对设置的第一波导结构和第二波导结构，其中，第一波导结构包括第一波导，该第一波导外套设有圆筒形永磁体，该圆筒形永磁体外设有电磁线圈；该第一波导的端面上固定有金属薄膜弹片，该金属薄膜弹片的一面吸附在圆筒形永磁体的端面上，另一面的中间位置放置有高反射结构层；第一波导结构根据电磁线圈内变化的电压信号产生电磁作用力，在该电磁作用力下，第一波导结构与第二波导结构的距离发生改变，从而实现波长可调。