[发明专利]真空喷镀装置用原料气体喷嘴无效
| 申请号： | 201410204258.3 | 申请日： | 2014-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN104148203A | 公开（公告）日： | 2014-11-19 |
| 发明（设计）人： | 洪兑权;宋在福 | 申请（专利权）人： | 株式会社阿碧兹儿 |
| 主分类号： | B05B1/20 | 分类号： | B05B1/20 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 韩芳;谭昌驰 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种真空喷镀装置用原料气体喷嘴。根据本发明的实施例的真空喷镀装置用原料气体喷嘴，包括：第一气体移动管，一侧与原料气体供给部相连接，内部收容有第一加热器，外周面形成有第一喷射孔，所述第一喷射孔用于喷射从原料气体供给部供给的原料气体；第二气体移动管，内部收容有所述第一气体移动管，外周面形成有多个第二喷射孔，所述多个第二喷射孔用于喷射从第一气体移动管流入的原料气体，且多个第二喷射孔的数量密度以第二气体移动管的中央为中心，并随着与所述中央的距离增加而增加。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 装置 原料 气体 喷嘴 | ||
【主权项】：
一种真空喷镀装置用原料气体喷嘴，其中，包括：第一气体移动管，一侧与原料气体供给部相连接，内部收容有第一加热器，外周面形成有第一喷射孔，所述第一喷射孔用于喷射从所述原料气体供给部供给的原料气体；第二气体移动管，内部收容有所述第一气体移动管，外周面形成有多个第二喷射孔，所述多个第二喷射孔用于喷射从所述第一气体移动管流入的所述原料气体，而且，所述多个第二喷射孔的数量密度以所述第二气体移动管的中央为中心，随着与所述中央的距离增加而增加。
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