[发明专利]真空喷镀装置用原料气体喷嘴无效
| 申请号： | 201410203314.1 | 申请日： | 2014-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN104148205A | 公开（公告）日： | 2014-11-19 |
| 发明（设计）人： | 洪兑权;宋在福 | 申请（专利权）人： | 株式会社阿碧兹儿 |
| 主分类号： | B05B1/34 | 分类号： | B05B1/34;B05B1/24 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 孙昌浩;韩明花 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及真空喷镀装置用原料气体喷嘴。根据本发明的实施例的真空喷镀装置用原料气体喷嘴，包括：连接管，一侧与用于供给原料气体的原料气体供给部相连接；第一气体移动管，外周面形成有连通孔以及第一喷射孔，所述连通孔与连接管的一端相连接，以使与连接管连通，所述第一喷射孔用于喷射通过连接管流入的原料气体；第二气体移动管，内部收容有第一气体移动管，外周面形成有第一插入孔以及第二喷射孔，所述第一插入孔使连接管的预定部分插入，以使连接管的一端与第一气体移动管的连通孔相连接，所述第二喷射孔用于喷射从所述第一气体移动管流入的所述原料气体。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 装置 原料 气体 喷嘴 | ||
【主权项】：
一种真空喷镀装置用原料气体喷嘴，包括：连接管，一侧与用于供给原料气体的原料气体供给部相连接；第一气体移动管，外周面形成有连通孔以及第一喷射孔，所述连通孔与所述连接管的一端相连接，以使与所述连接管连通，所述第一喷射孔用于喷射通过连接管而流入的所述原料气体；第二气体移动管，内部收容有所述第一气体移动管，外周面形成有第一插入孔以及第二喷射孔，所述第一插入孔使所述连接管的预定部分插入，以使所述连接管的一端与所述第一气体移动管的所述连通孔相连接，所述第二喷射孔用于喷射从所述第一气体移动管流入的所述原料气体。
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