[发明专利]测试分选机

摘要

本发明涉及支持半导体元件的测试的测试分选机。根据本发明的测试分选机，在将半导体元件推向测试器而使半导体元件与测试器电连接的推进装置中具有出入开关器，该出入开关器容许或阻止匹配板由构成于支撑匹配板的支撑装置的各支撑轨所支撑并进入设置位置或从设置位置退出。根据本发明，由于能够稳定地设置匹配板，因而提高设备的可靠度。

主权项

一种测试分选机，其特征在于，包括：装载装置，其将装载于用户托盘上的所要测试的各半导体元件装载到位于装载位置的测试托盘；推进装置，其将在通过上述装载装置的装载作业结束之后输送至测试位置的、装载于测试托盘的各半导体元件推向测试器侧使得各半导体元件与测试器电连接；以及，卸载装置，其从所装载的各半导体元件的测试结束之后输送至卸载位置的测试托盘，将各半导体元件按照测试等级进行分类并卸载到用户托盘上，上述推进装置，包括：匹配板，具有与装载于测试托盘的各半导体元件一对一地对应的各推进件；支撑装置，用于支撑上述匹配板；以及，驱动源，使上述支撑装置进退，上述支撑装置，包括：各支撑轨，引导并支撑上述匹配板的移动；设置部件，上述各支撑轨结合设置于上述设置部件；制动器，限制上述匹配板超过设定位置即设置位置而过度地移动；以及，出入开关器，容许或阻止上述匹配板由上述各支撑轨所支撑并进入设置位置或从设置位置退出，所述出入开关器包括：开关板，根据移动状态而敞开或关闭上述匹配板的出入路径；以及，设置壳体，用于将上述开关板以能够移动的方式设置。