[发明专利]一种超高真空环境下紧凑型高精度多维旋转机构

摘要

本发明公开了一种超高真空环境下紧凑型高精度多维旋转机构，包括有的相互配合安装的云台旋转组件、极向旋转组件和环向旋转组件，所述环向旋转组件的云台框架与云台旋转组件的旋转云台配合安装，所述极向旋转组件的极向推动连杆从环向旋转组件的环形旋杆的内部穿过，且极向推动连杆与环形旋杆配合的末端处安装有真空容器壁或真空法兰，所述真空容器法兰使其左端云台旋转组件以及部分极向旋转组件和环向旋转组位于真空环境内。本发明结构设计合理，其结构紧凑、占用空间小、精度高，尤其适用于等离子体物理实验装置中的诊断设备、光学调整设备、真空镀膜机内部靶板或样品台、以及各类真空和超高真空条件下的高精度多维旋转机构。

主权项

一种超高真空环境下紧凑型高精度多维旋转机构，包括有的相互配合安装的云台旋转组件、极向旋转组件和环向旋转组件，所述云台旋转组件包括有旋转云台，所述旋转云台的背面安装有云台推动块，旋转云台的两侧分别安装云台旋转轴；所述极向旋转组件包括有安装到云台推动块上的极向推动连杆，所述极向推动连杆的另一端安装在极向轴承座上，且极向轴承座中转动安装有极向推动杆，所述极向推动杆的末端焊接有极向推杆法兰，所述极向推杆法兰与极向波纹管组件用无氧铜超高真空密封垫保持密封连接，并与极向运动连接件硬性连接紧固，所述极向运动连接件由其后端的极向直线运动模组驱动；所述环向旋转组件包括有云台框架，所述云台框架的后端安装有环向旋杆，所述环向旋杆的末端安装有环向推杆，所述环向推杆的末端焊接有环向推杆法兰，所述环向推杆法兰与环向波纹管组件用无氧铜超高真空密封垫保持密封连接，并与环向运动连接件硬性连接紧固，所述环向运动连接件由其后端的环向直线运动模组驱动，所述云台框架与旋转云台配合安装，环向旋杆安装在两个旋杆支撑组里；所述极向推动杆从环向旋杆的内部穿过，且极向推动杆与环向旋杆配合的末端处安装有真空容器法兰，真空容器法兰使其左端云台旋转组件以及部分极向旋转组件和环向旋转组位于真空环境内。