[发明专利]工艺腔室共享电源方法及设备有效
| 申请号： | 201410178128.7 | 申请日： | 2014-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN105088170B | 公开（公告）日： | 2018-03-09 |
| 发明（设计）人： | 韩盼盼 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人： | 李芙蓉 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种工艺腔室共享电源方法及设备，其中方法包括如下步骤接收工艺腔室发出的申请使用电源命令；检测电源的工作状态；当电源的工作状态为空闲状态时，工艺腔室获取电源使用权，控制工艺腔室与电源的连接电路导通；工艺腔室使用电源进行工艺任务；当工艺腔室使用电源进行工艺任务完毕后，控制工艺腔室与电源的连接电路断开，释放电源。其通过多个工艺腔室轮流使用一个电源，在确保正常完成工艺的同时，减少了电源的使用个数，有效地解决了工艺成本增加的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 工艺 共享 电源 方法 设备 | ||
【主权项】：
一种工艺腔室共享电源方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤S100，接收工艺腔室发出的申请使用电源命令；步骤S200，检测电源的工作状态；步骤S300，当所述电源的工作状态为空闲状态时，所述工艺腔室获取所述电源使用权，控制所述工艺腔室与所述电源的连接电路导通；步骤S400，所述工艺腔室使用所述电源进行工艺任务；步骤S500，当所述工艺腔室使用所述电源进行所述工艺任务完毕后，控制所述工艺腔室与所述电源的连接电路断开，释放所述电源。
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