[发明专利]振动板、液体喷射装置及打印设备有效
| 申请号： | 201410172696.6 | 申请日： | 2014-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN103963467A | 公开（公告）日： | 2014-08-06 |
| 发明（设计）人： | 陈晓坤;佟鑫 | 申请（专利权）人： | 珠海纳思达企业管理有限公司 |
| 主分类号： | B41J2/14 | 分类号： | B41J2/14 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 刘芳 |
| 地址： | 519075 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种振动板、液体喷射装置及打印设备。本发明中提供的振动板，包括二氧化硅层和氮化硅层，所述氮化硅层设置于所述二氧化硅层上；其中，所述二氧化硅层的应力与所述氮化硅层的应力相互抵消，以使所述振动板的合应力为零，从而所述振动板不易翘曲变形，同时也可以防止在反复驱动压电元件过程中压电元件的位移变化量降低。 | ||
| 搜索关键词： | 振动 液体 喷射 装置 打印 设备 | ||
【主权项】：
一种振动板，其特征在于，包括：二氧化硅层和氮化硅层，所述氮化硅层设置于所述二氧化硅层上；其中，所述二氧化硅层的应力与所述氮化硅层的应力相互抵消，以使所述振动板的合应力为零。
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