[发明专利]一种高通量平面光源装置

摘要

本发明提供一种高通量平面光源产生的装置，主要包括一管状弧室、n个棒状阴极、一个中间具有圆孔的板状阳极、一个石英透射窗口；弧室的一端为板状阳极，另一端安装石英透射窗口；n个阴极发射端位于弧室内正n边形的各个顶点；所述n边形、弧室、阳极圆孔共轴线；在弧室壁面阴极周围分布气体注入孔缝；从n个阴极发射端始发的电弧汇聚至阳极圆孔，形成大致均匀的圆盘状等离子体，产生的高强度辐射光直接和经弧室壁面反射，在透射窗口外形成较为均匀的高通量平面光源；强迫气体的流动稳定电弧，保护透射窗、弧室壁面免受电极烧蚀蒸气污染。本发明提高电弧功率、增强发光功率，气体流动设计保护透射窗口及弧室壁面免受金属蒸气污染。

主权项

一种高通量平面光源装置，包括一个管状弧室、n个端部为锥形的棒状阴极、一个中间具有圆孔的板状阳极、一个石英透射窗口和n个直流恒流电源；所述弧室的一端为板状阳极，弧室的另一端安装石英透射窗口；所述n个阴极的轴线放射状布置在旋转面上，它们的发射端位于弧室内正n边形的各个顶点附近；存在一公共轴线，所述旋转面和n边形、弧室、阳极圆孔共所述公共轴线；在板状阳极上设置n个凹曲面反射镜，所述反射镜的焦轴与阴极轴线在同一平面内，反射镜两边高于阴极轴线，反射镜开口正对透射窗；在弧室壁阴极穿过处开有气体注入孔缝环绕每个阴极；所述n个直流电源的负极分别联接到n个阴极上，所述n个直流电源的正极连接到所述阳极；从n个阴极发射端始发的电弧汇聚至阳极圆孔，形成充满所述n个阴极发射端环内n个放射状电弧等离子体；等离子体产生的高强度辐射光直接经反射镜、阳极壁面和弧室壁面反射，通过石英透射窗在透射窗口形成较为均匀的高通量平面光源；从所述气体注入孔缝注入冷气体，保持电弧稳定，保护透射窗、反射镜、阳极壁面及弧室壁面免受电极烧蚀蒸气污染，对透射窗起热隔离保护作用；放电产生的高温气体从所述阳极圆孔流出弧室：其中所述n个阴极为偶数个。