[发明专利]光束均匀化方法及光束均匀化装置有效

专利信息
申请号: 201410161296.5 申请日: 2014-04-21
公开(公告)号: CN103955063B 公开(公告)日: 2017-06-16
发明(设计)人: 罗新华;汤兆胜;曾丽;金永军;孙玉琴 申请(专利权)人: 上海兆九光电技术有限公司
主分类号: G02B27/10 分类号: G02B27/10
代理公司: 上海脱颖律师事务所31259 代理人: 李强
地址: 201600 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种光束均匀化方法,其特征在于,在入射光束的传播路径上设置多个分光膜,入射光束透射分光膜后形成第一光束、经分光膜反射后形成第二光束;第一光束与第二光束成一夹角;所述第一光束方向与所述入射光束方向相同;所述多个分光膜沿所述第二光束传输方向排列。本发明提供的光束均匀化方法,通过设有分光面的光束均匀化装置对入射光束进行重新分配,使其转换为均匀分布的出射光束。
搜索关键词: 光束 均匀 方法 化装
【主权项】:
光束均匀化方法,其特征在于,在入射光束的传播路径上设置多个分光镜,每一个分光镜包括两个等腰直角棱镜,该两个等腰直角棱镜相对叠加使其斜面接触,形成分光面;在入射光束的传播路径上设置多个分光膜,且所述分光膜设置在所述分光面上;入射光束透射分光膜后形成第一光束、经分光膜反射后形成第二光束;第一光束与第二光束成一90°夹角;所述第一光束方向与所述入射光束方向相同;所述多个分光膜沿所述第二光束传输方向排列;设置至少两组分光膜,其中第一组分光膜包括第一多个分光膜,第二组分光膜包括第二多个分光膜,两组分光膜对所述入射光束反射后的光束方向相反。
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