[发明专利]一种变焦光学系统有效
| 申请号： | 201410157886.0 | 申请日： | 2014-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN103926683A | 公开（公告）日： | 2014-07-16 |
| 发明（设计）人： | 何毅;张海波;林妩媚;邢廷文;廖志杰;甘大春;卢亮 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G02B15/20 | 分类号： | G02B15/20;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 成金玉;孟卜娟 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种变焦光学系统，尤其是用于光刻照明系统内的变焦光学系统，该变焦光学系统沿其光轴方向包括第一、第二、第三和第四共四个透镜组。其中第一镜透镜组L1为前固定组，具有正光焦度，第二透镜组L2为变倍组，具有正光焦度，第三透镜组L3为补偿组，具有负光焦度，第四透镜组L4为后固定组，具有正光焦度，其中第二透镜组L2和第三透镜组L3可沿光轴方向移动，改变系统的焦距，将入射的照明图形缩放后成像于光刻曝光系统的光瞳面。本发明的变焦系统所有的透镜均为球面透镜，能有效降低制造成本，降低镜片的加工、检测和装调难度；且系统内有一中间像面，可以调整系统像面得到的照明图形，使其形状、能量分布特性符合特定的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 变焦 光学系统 | ||
【主权项】：
一种变焦光学系统，其特征在于：所述变焦光学系统为像方远心光学系统，沿系统的光轴方向依次包括第一透镜组L1、第二透镜组L2、第三透镜组L3和第四透镜组L4，所述透镜单元均处于同一光轴，所述第一镜组L1为前固定组，具有正光焦度，第二透镜组L2为变倍组，具有正光焦度，第三透镜组L3为补偿组，具有负光焦度，第四透镜组L4为后固定组，具有正光焦度，其中第二透镜组L2和第三透镜组L3能够沿光轴方向移动，改变变焦系统的焦距，同时系统的像面保持在光轴方向同一位置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院光电技术研究所，未经中国科学院光电技术研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410157886.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
