[发明专利]动态二维光电显微镜有效
| 申请号： | 201410145044.3 | 申请日： | 2014-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN103940334A | 公开（公告）日： | 2014-07-23 |
| 发明（设计）人： | 朱振宇;王霁;李华丰;傅星;李强;梁志国 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G01B9/04 | 分类号： | G01B9/04;G01B11/00 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 杜文茹 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 一种动态二维光电显微镜，包括有用于照射被测二维线纹样板的照明光源，用于将被测二维线纹样板实像引入测量系统的光电显微镜物镜，设置在所述光电显微镜物镜的输出光路上，用于将该路光分为用于观察和用于测量的两路光的第一分光平片，设置在第一分光平片所分出的用于观察的光路上的成像CCD相机，所述成像CCD相机接收该路光用于在测量时对被测二维线纹样板进行观察与调整，设置在第一分光平片所分出的用于测量的光路上，并将该路光分成用于获取光电瞄准信号的测量方向为X轴的两路光和测量方向为Y轴的两路光的测量单元。本发明结构简单易于操作，能够实现二维线纹瞄准的测量功能，有较好的测量对象的适应性及测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 动态 二维 光电 显微镜 | ||
【主权项】：
一种动态二维光电显微镜，包括有用于照射被测二维线纹样板（2）的照明光源（1），其特征在于，还设置有：用于将被测二维线纹样板（2）实像引入测量系统的光电显微镜物镜（3），设置在所述光电显微镜物镜（3）的输出光路上，用于将该路光分为用于观察和用于测量的两路光的第一分光平片（4），设置在第一分光平片（4）所分出的用于观察的光路上的成像CCD相机（5），所述成像CCD相机（5）接收该路光用于在测量时对被测二维线纹样板（2）进行观察与调整，设置在第一分光平片（4）所分出的用于测量的光路上，并将该路光分成用于获取光电瞄准信号的测量方向为X轴的两路光和测量方向为Y轴的两路光的测量单元。
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