[发明专利]材料的微区应力测试系统无效
| 申请号： | 201410143013.4 | 申请日： | 2014-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN103940537A | 公开（公告）日： | 2014-07-23 |
| 发明（设计）人： | 高寒松;陈涌海;刘雨;张宏毅;黄威;朱来攀;李远;邬庆 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G01L1/24 | 分类号： | G01L1/24;G01N21/21 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 宋焰琴 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种材料的微区应力测试系统，其采用微区透射差分偏振谱法(μ-TDS，microscopic transmission difference spectroscopy)建立。整个测试系统包括线偏振激光源(1)、光相位调制器(2)、斩波器(3)、聚焦物镜(41)、收集物镜(42)、检偏器(6)和信号采集系统(7)，采用计算机控制逐点扫描并采集处理数据。本发明通过测量材料表面相互垂直的两个方向上的光强反射比率差ΔT／T求得测试材料的应力分布，可以克服现有测试系统带来的负面影响，对于材料不具有损伤性，小范围的表征材料应力的分布情况。且测试过程简单快捷，测试精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 材料 应力 测试 系统 | ||
【主权项】：
一种材料的微区应力测试系统，包括线偏振激光源(1)、光相位调制器(2)、斩波器(3)、聚焦物镜(41)、收集物镜(42)、检偏器(6)和信号采集系统(7)，其中，所述线偏振激光源(1)用于产生线偏振激光；所述光相位调制器(2)用于使所述线偏振激光在该光相位调制器(2)主轴和它的垂直方向上产生固定的相位差，并使之入射到所述斩波器(3)；所述斩波器(3)用于将入射的具有固定相位差的线偏振激光调制成特定频率的交流信号后入射到所述聚焦物镜(41)；所述聚焦物镜(41)用于将来自所述斩波器(3)的入射光汇聚在所测试材料的样品(S)上；所述收集物镜(42)用于接收由所述样品(S)透射的激光，并使之入射到所述检偏器(6)；所述检偏器(6)用于检测特定方向上光波的振幅，并使之入射到所述信号采集系统(7)；所述信号采集系统(7)用于采集入射光信号，并对采集的入射光信号进行处理，得到所述样品(S)的应力分布。
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