[发明专利]玻璃基板清洗装置

摘要

本发明属于清洗技术领域，提供了一种玻璃基板清洗装置，包括：清洗箱，其内设有隔板，隔板将清洗箱内部分隔为工作槽及排液槽，隔板上设有溢出孔；超声波发生器，其设于清洗箱外；上振板及下振板，其与超声波发生器电气连接，下振板设于工作槽底部，上振板设于下振板上方，上振板与下振板之间形成通道；传送机构，其用于传送待清洗玻璃基板，传送机构设于通道内；循环补液系统，其用于为工作槽提供工作液体，用于回收排液槽内的工作液体，循环补液系统与清洗箱连接。本发明借助空化气泡破裂瞬间产生巨大能量的原理，通过设置上振板和下振板，保证玻璃基板两面均能受到空化气泡流的冲击，使得玻璃基板上的异物能够有效地被清除。

主权项

一种玻璃基板清洗装置，其特征在于，包括：清洗箱，其具有空腔，所述空腔内设有隔板，所述隔板将所述空腔分隔为可容纳工作液体的工作槽以及用于容纳从所述工作槽内溢出的工作液体的排液槽，所述隔板上设有用于调节所述工作槽内工作液体液位的溢出孔，所述溢出孔贯通所述工作槽与所述排液槽；超声波发生器，其设于所述清洗箱外；上振板及下振板，其用于发射超声波使工作液体产生空化气泡，所述上振板及所述下振板均与所述超声波发生器电气连接，所述下振板设于所述工作槽底部，所述上振板设于所述工作槽内且位于所述下振板上方，所述上振板与所述下振板之间的间隙形成容待清洗玻璃基板通过的通道；传送机构，其用于传送所述待清洗玻璃基板，所述传送机构设于所述通道内；循环补液系统，其用于为所述工作槽提供工作液体，用于回收所述排液槽内的工作液体，所述循环补液系统与所述清洗箱连接。