[发明专利]一种离轴无遮拦极紫外投影光刻物镜

摘要

本发明公开了一种离轴无遮拦极紫外投影光刻物镜，通过对第五反射镜和第六反射镜进行旋转和倾斜，使得第五反射镜和第六反射镜可以无遮拦的将中间像成像于本极紫外投影光刻物镜的像面上，因此可以克服因增大系统数值孔径NA后，第五反射镜的上边缘和第六反射镜的下边缘存在光路遮拦所导致的边缘视场光学调制函数(MTF)和分辨力降低的问题；通过对六个镜片设计参数进行改进，使得本极紫外投影光刻物镜的像方数值孔径达到0.4，因此相应的提高了光刻分辨力；像方扫描方向视场宽度达到1.5mm，保证了硅片的产率；通过对六个镜片上的非旋转对称自由曲面的各参数进行改进，使得获取的投影光刻物镜具有优良的成像质量，所有视场波像差均方根(RMS)值小于0.0442λ，全视场变畸变小于1.85nm。

主权项

一种离轴无遮拦极紫外投影光刻物镜，包括在沿光路方向上顺次排列的第一反射镜M1、第二反射镜M2、第三反射镜M3、第四反射镜M4、第五反射镜M5以及第六反射镜M6；由所述第一反射镜M1、第二反射镜M2、第三反射镜M3和第四反射镜M4组成的第一镜组用于将物面成中间像于第五反射镜M5和第六反射镜M6之间，且所述中间像位于第六反射镜M6的下边缘下方，由第五反射镜M5和第六反射镜M6组成的第二镜组用于将所述中间像成像于像面上，其特征在于：所述第五反射镜M5和第六反射镜M6均在同一平面内偏心与倾斜，使得第六反射镜M6的下边缘对从第四反射镜M4反射的光束不产生遮拦，同时，第五反射镜M5上边缘对从第六反射镜M6反射的光束不产生遮拦。