[发明专利]基于SEM原位在线观测的纳米切削装置有效
| 申请号： | 201410123818.2 | 申请日： | 2014-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN103878392A | 公开（公告）日： | 2014-06-25 |
| 发明（设计）人： | 刘冰;房丰洲;徐宗伟;兀伟;赵兵;贾瑞丽;曹克雄 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | B23B5/00 | 分类号： | B23B5/00;B23B25/06;B23B27/00;B23Q1/25;B23Q17/00;B82Y40/00;B82Y35/00 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 程毓英 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基于SEM原位在线观测的纳米切削装置，包括基座(1)，位于基座(1)两侧的具有相同高度的两块立板(10)，扫描电子显微镜(2)，纳米移动台(4)，包括上微动台(8)和下微动台(9)的多轴精密微移动台，金刚石刀具(3)，隔离板(5)样品托(7)，隔离板(5)与立板(10)相连并悬于下微动台的上方，中间开设有孔洞，下微动台(9)置于基座(1)上；上微动台(8)置于下微动台(9)上面，通过孔洞伸出；纳米移动台(4)置于隔离板(5)上，带动金刚石刀具(3)进行切削运动。本发明结构简单，稳定可靠，可以实现原位观测功能，而且对刀容易，提高了加工的灵活性。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 sem 原位 在线 观测 纳米 切削 装置 | ||
【主权项】：
一种基于SEM原位在线观测的纳米切削装置，置于真空腔内，包括基座(1)，位于基座(1)两侧的具有相同高度的两块立板(10)，扫描电子显微镜(2)，纳米移动台(4)，包括上微动台(8)和下微动台(9)的多轴精密微移动台，金刚石刀具(3)，隔离板(5)样品托(7)，其中，隔离板(5)与立板(10)相连并置于下微动台的上方，中间开设有孔洞。隔离板(5)与下微动台(9)之间相隔一定距离，下微动台(9)置于基座(1)上，具有X、Y自由度；上微动台(8)置于下微动台(9)上面，通过隔离板(5)上的孔洞伸出，上微动台(8)具有Z、R自由度；纳米移动台(4)置于隔离板(5)上，具有X轴、Y轴、Z轴三个自由度，带动金刚石刀具(3)进行切削运动，X轴是切削深度方向，Y轴是切削方向，Z轴用于微调样品与刀具直线刃的位置高度关系；样品托置于上移动台上；扫描电子显微镜(2)用于进行切削加工的原位在线观测。
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