[发明专利]MOEMS双稳态光栅平动式光调制器及其阵列

摘要

本发明涉及光调制器技术领域，具体涉及一种光栅光调制器及其制造方法和阵列:MOEMS双稳态光栅平动式光调制器包括硅衬底1以及其上的绝缘层2,光栅6通过弹性支撑梁悬空支撑于绝缘层2上方，支撑梁由梁体5和支撑柱4组成，梁体的中部与光栅连接，梁体为由不同热膨胀系数材料组成的双层复合梁，在光栅在正下方设置有下反射表面3；外接的电流驱动装置7，可产生不同幅度、频率的电流。本发明利用一种具有双稳态特性支撑梁的可动光栅在电热驱动下可以切换双稳态位置，避免光栅在非稳态位置驻留易受电源波动干扰而引起位置漂移降低衍射效率的问题发生，同时达到防止粘附失效发生的目的，并具有驱动电路稳定性要求低、实现容易、功耗低的优点。

主权项

MOEMS双稳态光栅平动式光调制器，其特征在于包括：硅衬底以及设置于硅衬底上的绝缘层；光栅，通过弹性支撑梁悬空支撑于绝缘层上方，所述光栅是在弹性基底上覆盖金属反射物形成的，所述弹性支撑梁由梁体和支撑柱组成，梁体的两端通过支撑柱固定设置于绝缘层上，梁体的中部与光栅固定连接，梁体为由不同热膨胀系数材料组成的双层复合梁，底层材料在加工时形成压应力，顶层材料在加工时形成张应力，其中至少有一层材料导电并通过两端的支撑柱形成电学连接的两极；下反射表面，设置在光栅下方的绝缘层上；电流驱动装置，与复合梁中的导电材料层两极相连形成回路，可产生不同幅度、不同频率的驱动电流。