[发明专利]光扫描仪的制造方法、光扫描仪、图像显示装置以及头戴式显示器

摘要

光扫描仪的制造方法的特征在于，具有：将包括成为基部的基部区域、成为轴部的轴部区域、以及成为支承部的支承部区域的第1基板、和在一个面形成有框状的凹部、位于上述凹部的内侧的第1部分、以及位于上述凹部的外侧且具有降低光反射率的功能的框状的第2部分的第2基板重叠，并分别接合上述基部区域与上述第1部分、以及上述支承部区域与上述第2部分的接合工序；对上述第1基板进行图案化，形成上述基部、上述轴部以及上述支承部的图案化工序；以及从另一面侧切削上述第2基板，分离上述第1部分与上述第2部分的薄壁化工序。

主权项

一种光扫描仪的制造方法，其特征在于，具有：将包括成为基部的基部区域、成为以能够摆动的方式支承所述基部的轴部的轴部区域、以及成为经由所述轴部支承所述基部的支承部的支承部区域的第1基板、和在一个面形成有框状的凹部、位于所述凹部的内侧的第1部分、以及位于所述凹部的外侧且具有降低光反射率的功能的框状的第2部分的第2基板重叠，并分别接合所述基部区域与所述第1部分、以及所述支承部区域与所述第2部分的接合工序；对所述第1基板进行图案化，形成所述基部、所述轴部以及所述支承部的图案化工序；以及从另一面侧对所述第2基板进行切削，使所述凹部向所述另一面侧贯通，从而分离所述第1部分与所述第2部分的薄壁化工序。