[发明专利]多晶硅铸锭炉在线补料系统

摘要

本发明公开了一种多晶硅铸锭炉在线补料系统，解决了现有的多晶硅生产过程所存在的坩埚耗材利用率低和生产产量大打折扣的问题。包括在多晶硅铸锭炉炉顶盖（2）上分别设置有两导轨支撑板和滑动导轨（17），在料斗（12）的底部设置有螺旋给料机（10），在导轨右支撑板（16）的右侧面上固定设置有导料仓（5），导料仓的下料管（4）通过补料口（3）设置在多晶硅铸锭炉炉体（1）中的石英坩埚（23）的上方，在导料仓的左侧入料口（7）上设置有插板阀（8），在多晶硅铸锭炉炉顶盖（2）上设置有真空泵（19），真空泵的抽真空口通过可伸缩的抽真空波纹管（20）与料斗上设置的抽气口连通在一起。实现了生产单位产品能耗的降低和单台设备的产能提升。

主权项

一种多晶硅铸锭炉在线补料系统，包括多晶硅铸锭炉炉体（1），在多晶硅铸锭炉炉顶盖（2）上设置有补料口（3），其特征在于，在多晶硅铸锭炉炉顶盖（2）上分别设置有导轨左支撑板（15）和导轨右支撑板（16），在导轨左支撑板（15）与导轨右支撑板（16）之间设置有滑动导轨（17），料斗（12）通过料斗滑动底座（18）活动设置在滑动导轨（17）上，在料斗（12）的底部设置有螺旋给料机（10），在料斗（12）中设置有多晶硅颗粒料（24），在导轨右支撑板（16）的右侧面上固定设置有导料仓（5），导料仓（5）的下料管（4）通过补料口（3）设置在多晶硅铸锭炉炉体（1）中的石英坩埚（23）的上方，在导料仓（5）的左侧入料口（7）上设置有插板阀（8），在料斗出料口（11）与导料仓（5）的左侧入料口（7）之间设置有可伸缩的导料波纹管（9），螺旋给料机（10）的出料端设置在导料波纹管（9）中，在螺旋给料机（10）的左端连接有螺旋给料机驱动电机（13），螺旋给料机驱动电机（13）设置在支撑座（14）上，支撑座（14）是固定设置在料斗滑动底座（18）上的，在多晶硅铸锭炉炉顶盖（2）上设置有真空泵（19），真空泵（19）的抽真空口通过可伸缩的抽真空波纹管（20）与料斗（12）上设置的抽气口（21）连通在一起。