[发明专利]一种防止研磨垫刮伤晶圆的系统有效
| 申请号： | 201410106660.8 | 申请日： | 2014-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN103878687B | 公开（公告）日： | 2017-01-04 |
| 发明（设计）人： | 丁弋;朱也方;严钧华 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所31272 | 代理人： | 吴俊 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种防止研磨垫刮伤晶圆的系统，包括：一清理盘，其表面设置有凸出的若干钻石，且每个所述钻石暴露的表面均包裹有一层磁性材料；一研磨垫，其表面与所述清理盘的表面相对设置；一磁性感应器，设置于所述研磨垫的下方，以对所述研磨垫表面的磁性情况进行检测，另外该系统还包括报警装置。在研磨过程中，若清理盘上的磁性材料脱落至研磨垫上，就会被磁性感应器感应，触发报警装置，研磨垫停止研磨。该系统可以实时的监测钻石是否脱落而导致的晶圆刮伤的效果，防止了晶圆由于严重刮伤而报废的后果，大大提高了产品的良率，降低了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 防止 研磨 垫刮伤晶圆 系统 | ||
【主权项】：
一种防止研磨垫刮伤晶圆的系统，其特征在于，所述系统包括：一清理盘，其表面设置有凸出的若干钻石，且每个所述钻石暴露的表面均包裹有一层磁性材料；一研磨垫，其表面与所述清理盘的表面相对设置；一磁性感应器，设置于所述研磨垫的下方，以对所述研磨垫表面的磁性情况进行检测；其中，在对一晶圆进行化学机械研磨过程中，所述清理盘对所述研磨垫进行清理，若所述清理盘上的磁性材料脱落至所述研磨垫上时，被所述磁性感应器感应，所述研磨垫停止研磨。
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