[发明专利]一种OLED显示面板生产用新型荫罩板的制作方法

摘要

本发明公开了一种OLED显示面板生产用新型荫罩板的制作方法，该方法包括制备基板或框架工件、加工对位标识、镶嵌填充物、涂覆感光层、曝光、显影、等离子体活化处理、非电沉积面防护、电沉积精细掩膜、去除感光层、去除填充物等步骤，填充物的去除刻蚀非常方便，刻蚀过程中不需要加保护层，2-3个小时就可以完成填充物刻蚀工作，极大缩短了刻蚀周期，降低了产品的生产成本。采用本发明的方法制作的荫罩板，精细掩膜和基板或框架是结合紧密的一体化结构，一方面，省去了将精细掩膜焊接到边框上的过程，简化了制作过程，另一方面，在清洗及OLED蒸镀等相应的操作过程中，基板或框架上的内部分隔框会起到一定的支撑保护作用，减少了精细掩膜的下垂，大大延长了荫罩板的使用寿命。

主权项

一种OLED显示面板生产用新型荫罩板的制作方法，其特征在于其制作步骤如下：（1）、制备基板或框架：机加工出带单通孔或多通孔的基板或框架工件；（2）、加工对位标识：将工件上需要对位标识的位置进行机加工处理或激光打孔，形成对位标识；（3）、镶嵌填充物：在工件的通孔中紧密镶嵌填充物，并对工件表面做抛光处理；（4）、涂覆感光层：在工件表面涂覆感光材料形成感光层；（5）、曝光：采用光刻设备曝光，将精细掩膜所需要的图案转移到感光层上；（6）、显影：采用显影溶液显影处理，将感光层中可溶解的部分洗掉，留下需要的掩膜图案；（7）、等离子体活化处理：将显影后的工件放入等离子体设备腔内，等离子处理15‑30min；（8）、非电沉积面防护：在工件的非电沉积面粘贴保护材料形成保护层；（9）、电沉积精细掩膜：在工件上感光层被溶解掉的部分电沉积金属形成精细掩膜；（10）、去除感光层：采用去胶液去除感光层：（11）、去除填充物：去除非电沉积面的保护层，将工件浸入仅与填充物材料反应的刻蚀液或有机溶剂中，通过刻蚀去除填充物，清洗后用压缩空气吹干，制得荫罩板成品。