[发明专利]基于变间距光栅衍射的二维位移测量装置在审
| 申请号： | 201410100218.4 | 申请日： | 2014-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN104913725A | 公开（公告）日： | 2015-09-16 |
| 发明（设计）人： | 楼俊;李本冲;许宏志;谭耀成;徐贲;黄杰;沈为民 | 申请（专利权）人： | 中国计量学院 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310018 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于变间距光栅衍射的二维位移测量装置，解决了现有二维位移测量中，测量系统体积较大，数学处理方法复杂的问题，包括：光源、反射镜、聚焦透镜、光阑、准直透镜、二维测量光栅、二维位移平台、第一探测器、第二探测器和光谱仪。当光源发出的宽带光通过反射镜后平行入射到聚焦透镜上，聚焦后的光通过光阑、准直透镜垂直入射到二维测量光栅上，光束在二维测量光栅上发生衍射，探测器以固定角度接收衍射光，探测的信号经光谱仪分析处理。本发明所述的装置在测量过程中准确方便，并减少了装置的体积。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 间距 光栅 衍射 二维 位移 测量 装置 | ||
【主权项】：
基于变间距光栅衍射的二维位移测量装置，该装置包括光源、反射镜、聚焦透镜、光阑、准直透镜、二维测量光栅、二维位移平台、第一探测器、第二探测器和光谱仪，光源发出的宽带光经反射镜入射到聚焦透镜上，聚焦后的光通过光阑和准直透镜垂直入射到二维测量光栅上，光束在二维测量光栅上发生衍射，衍射光以固定角度被第一探测器、第二探测器接收，探测的信号通过光谱仪分析处理。
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