[发明专利]干涉滤波器、光学滤波器装置、光学模块及电子设备有效
| 申请号： | 201410097629.2 | 申请日： | 2014-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN104062700B | 公开（公告）日： | 2019-01-18 |
| 发明（设计）人： | 佐野朗 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G02B5/28 | 分类号： | G02B5/28;G02B26/00;G01J3/46;G01N21/65;G01N21/35 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 余刚;吴孟秋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及干涉滤波器、光学滤波器装置、光学模块及电子设备。波长可变干涉滤波器（5），具备：固定基板（51）；设置于固定基板（51）、使入射光的一部分反射、至少一部分透过的固定反射膜（54）；与固定反射膜（54）对置、使入射光的一部分反射、至少一部分透过的可动反射膜（55）；设置于固定反射膜（54）的周围，具备光吸收层（571）和金属层（572）的固定电极（561），光吸收层（571）相比金属层（572）设置于距离固定基板（51）近的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 干涉 滤波器 光学 装置 模块 电子设备 | ||
【主权项】：
1.一种干涉滤波器，其特征在于，具备：基板；第一反射膜，设置在所述基板上；第二反射膜，与所述第一反射膜对置；以及第一电极，设置于所述第一反射膜的周围，并且具备光吸收层和金属层，其中，所述光吸收层比所述金属层设置在距离所述基板更近的位置，从所述第二反射膜侧观察所述第一反射膜时，所述第一反射膜的外周部的至少一部分与所述第一电极的内周部重叠，所述光吸收层被配置为与所述金属层相接。
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