[发明专利]一种蓝宝石晶棒（片）光学均匀性检测装置有效
| 申请号： | 201410097103.4 | 申请日： | 2014-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN103837538A | 公开（公告）日： | 2014-06-04 |
| 发明（设计）人： | 阎文博;陈洪建;王运满;程鹏 | 申请（专利权）人： | 河北工业大学;唐山锐晶光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/87 | 分类号： | G01N21/87;G01N21/45 |
| 代理公司： | 天津翰林知识产权代理事务所(普通合伙) 12210 | 代理人： | 李济群 |
| 地址： | 300401 天津*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开一种蓝宝石晶棒（片）光学均匀性检测装置，该装置包括起偏器、检偏器和CCD相机，其特征在于该装置还包括：单色高功率LED点光源、非球面聚光反射镜、相位延迟器、光学整形器和微调载物台；该装置的组成部件按照下述顺序设置：非球面聚光反射镜、单色高功率LED点光源、起偏器、相位延迟器、光学整形器、微调载物台、检偏器和CCD相机，并依次固定于钢制连接板上，且构成检测光路。该装置结构简单，使用方便，检测精度高，特别适合于双折射系数较小的蓝宝石晶棒（片）的质量检测与控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蓝宝石 光学 均匀 检测 装置 | ||
【主权项】：
一种蓝宝石晶棒（片）光学均匀性检测装置，该装置包括起偏器、检偏器和CCD相机，其特征在于该装置还包括：单色高功率LED点光源、非球面聚光反射镜、相位延迟器、光学整形器和微调载物台；该装置的组成部件按照下述顺序设置：非球面聚光反射镜、单色高功率LED点光源、起偏器、相位延迟器、光学整形器、微调载物台、检偏器和CCD相机，并依次固定于钢制连接板上，且构成检测光路。
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