[发明专利]密封结构、干涉滤波器、光学模块以及电子设备在审
申请号: | 201410096462.8 | 申请日: | 2014-03-14 |
公开(公告)号: | CN104062699A | 公开(公告)日: | 2014-09-24 |
发明(设计)人: | 广久保望 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | G02B5/28 | 分类号: | G02B5/28;G01J3/46;G01N21/65 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 余刚;吴孟秋 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供密封结构、干涉滤波器、光学模块及电子设备。本发明具备:设置有固定反射膜(54)的第一基板(51);与第一基板(51)相对且设置有可动反射膜(55)的第二基板(52);接合第一基板(51)及第二基板(52)的第一接合膜(571);和密封材料(575),配置于第一间隙部(573),密封第一内部空间(581),第一间隙部(573)在第一基板(51)及第二基板(52)之间使被第一基板(51)及第二基板(52)夹着的第一内部空间(581)与外部连通,第一间隙部(573)中的、第一基板(51)及第二基板(52)的基板间距离随着从基板厚度方向观察的俯视观察中从基板的外周缘朝向内侧而变小。 | ||
搜索关键词: | 密封 结构 干涉 滤波器 光学 模块 以及 电子设备 | ||
【主权项】:
一种密封结构,其特征在于,具备:第一基板;第二基板,与所述第一基板相对;接合部,接合所述第一基板及所述第二基板;以及密封部,配置于在所述第一基板及所述第二基板间使被所述第一基板及所述第二基板夹着的内部空间与外部连通的间隙部,用于密封所述内部空间,其中,所述间隙部处的、所述第一基板及所述第二基板的基板间距离在从基板厚度方向观察所述第一基板及所述第二基板的俯视观察中,随着从所述第一基板及所述第二基板的外周缘朝向内侧而变小。
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