[发明专利]一种太阳能选择吸收复合涂层及其制备方法有效
申请号: | 201410091209.3 | 申请日: | 2014-06-11 |
公开(公告)号: | CN103954059A | 公开(公告)日: | 2014-07-30 |
发明(设计)人: | 黄林冲;操振华;石俊;魏明真;孟祥康 | 申请(专利权)人: | 江苏奥蓝工程玻璃有限公司;南京大学 |
主分类号: | F24J2/48 | 分类号: | F24J2/48;B32B9/00;C23C14/58;C23C14/35 |
代理公司: | 北京一格知识产权代理事务所(普通合伙) 11316 | 代理人: | 滑春生 |
地址: | 226500 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种太阳能选择吸收复合涂层,依次包括底层金属片、热扩散阻挡层、吸收层和减反射层,其中热扩散阻挡层为Ta纳米层,吸收层为AlN-Ag纳米层,减反射层为AlN纳米层。本发明还公开了这种涂层的制备方法,包括底层金属片预处理、沉积吸收复合涂层和退火处理工序,其中沉积吸收复合涂层工序为采用三靶室温直流磁控溅射法,以金属Al、Ag和Ta为溅射靶材沉积吸收涂层采用电场进行退火处理。本发明将高熔点金属Ta引入吸收涂层作为扩散阻挡层,显著提高了涂层的热稳性以及界面结合力。采用电场退火对涂层进行处理,提高了涂层的吸收率。本发明操作简单方便,可控性好,清洁无污染,适合大规模产业化。 | ||
搜索关键词: | 一种 太阳能 选择 吸收 复合 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种太阳能选择吸收复合涂层,依次包括底层金属片、热扩散阻挡层、吸收层和减反射层,其特征在于:所述热扩散阻挡层为Ta纳米层,吸收层为AlN‑Ag纳米层,减反射层为AlN纳米层。
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