[发明专利]磁体用调节机构有效
| 申请号： | 201410083058.7 | 申请日： | 2014-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN103849846A | 公开（公告）日： | 2014-06-11 |
| 发明（设计）人： | 卢秀强;熊树林;李响 | 申请（专利权）人： | 东莞鑫泰玻璃科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人： | 张艳美;郝传鑫 |
| 地址： | 523000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种磁体用调节机构，适用于磁控溅射镀膜机，磁控溅射镀膜机包括镀膜室、加热保温板、靶材、安装架及呈板状结构的磁体，加热保温板及靶材均设于镀膜室内，且靶材位于加热保温板的一侧，安装架安装于镀膜室的外部；磁体呈移动的设于安装架，磁体位于加热保温板的另一侧且两者呈间隔开的设置，磁体用调节机构设于磁体及安装架之间，磁体用调节机构包括移磁调节组件及均磁调节组件，移磁调节组件及均磁调节组件均设于磁体及安装架之间，通过移磁调节组件驱使磁体相对靶材沿平行于靶材的方向做平移调节操作，通过均磁调节组件驱使磁体弯曲以调节磁体两端与靶材的距离。从而实现根据实际的需求对磁体进行调节。 | ||
| 搜索关键词： | 磁体 调节 机构 | ||
【主权项】：
一种磁体用调节机构，适用于磁控溅射镀膜机，所述磁控溅射镀膜机包括镀膜室、加热保温板、靶材、安装架及呈板状结构的磁体，所述加热保温板及靶材均设于所述镀膜室内，且所述靶材位于加热保温板的一侧，所述安装架安装于镀膜室的外部；其特征在于，所述磁体呈移动的设于所述安装架，所述磁体位于所述加热保温板的另一侧且两者呈间隔开的设置，所述磁体用调节机构设于所述磁体及安装架之间，所述磁体用调节机构包括移磁调节组件及均磁调节组件，所述移磁调节组件及均磁调节组件均设于所述磁体及安装架之间，通过所述移磁调节组件驱使所述磁体相对所述靶材沿平行于所述靶材的方向做平移调节操作，通过所述均磁调节组件驱使所述磁体弯曲以调节所述磁体两端与所述靶材的距离。
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