[发明专利]用于测试器件的方法和测量装置在审
| 申请号： | 201410078355.2 | 申请日： | 2014-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN104035015A | 公开（公告）日： | 2014-09-10 |
| 发明（设计）人： | F.芬克;A.克尔平;H.库恩;F.厄斯特勒 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 杜荔南;胡莉莉 |
| 地址： | 德国瑙伊比*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 用于测试器件的方法和测量装置。本发明描述了一种用于测试多个电子器件的方法，其具有：将多个电子器件分成多个第一组；将多个电子器件分成多个第二组；针对每个第一组，测量第一组的器件的互连的电参数；针对每个第二组，测量第二组的器件的互连的电参数；以及基于针对第一组的电参数测量结果并且基于针对第二组的电参数测量结果来确定所述多个电子器件中哪些电子器件具有预先给定的特性。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 测试 器件 方法 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种用于测试多个电子器件的方法，具有：将多个电子器件分成多个第一组；将多个电子器件分成多个第二组；针对每个第一组，测量第一组的器件的互连的电参数；针对每个第二组，测量第二组的器件的互连的电参数；以及基于针对第一组的电参数测量结果并且基于针对第二组的电参数测量结果来确定所述多个电子器件中哪些电子器件具有预先给定的特性。
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