[发明专利]一种用于湿蚀刻铝或铝合金薄膜的蚀刻剂无效
| 申请号： | 201410074361.0 | 申请日： | 2014-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN103938212A | 公开（公告）日： | 2014-07-23 |
| 发明（设计）人： | 虞海香 | 申请（专利权）人： | 虞海香 |
| 主分类号： | C23F1/20 | 分类号： | C23F1/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 315177 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于湿蚀刻铝或铝合金薄膜的蚀刻剂，包括有按重量比为51-51.5％的磷酸、9.8-10.2％的硝酸、7.5-7.8％的乙酸及3.2-3.5％的脂族磺酸盐和芳族磺酸盐。通过本技术方案，不仅能保证对两层同时蚀刻的同时，提高对第二层的蚀刻速率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 蚀刻 铝合金 薄膜 | ||
【主权项】：
一种用于湿蚀刻铝或铝合金薄膜的蚀刻剂，其特征在于：包括有按重量比为51‑51.5％的磷酸、9.8‑10.2％的硝酸、7.5‑7.8％的乙酸及3.2‑3.5％的脂族磺酸盐和芳族磺酸盐。
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