[发明专利]玻璃减薄设备及玻璃减薄方法

摘要

本发明涉及一种玻璃减薄设备和玻璃减薄方法。玻璃减薄设备包括箱体和设置于箱体中的喷淋装置，箱体中设有依次排列的第一淋洗槽、第一刻蚀槽、第二刻蚀槽、第三刻蚀槽、第二淋洗槽、第三淋洗槽、第四淋洗槽和干燥槽，喷淋装置包括分别位于第一淋洗槽、第一刻蚀槽、第二刻蚀槽、第三刻蚀槽、第二淋洗槽、第三淋洗槽和第四淋洗槽的槽底上方的第一喷淋管、第二喷淋管、第三喷淋管、第四喷淋管、第五喷淋管、第六喷淋管和第七喷淋管。使用上述玻璃减薄设备进行在不同的槽中进行喷淋洗涤和刻蚀的减薄方法能够避免浸泡式减薄法中的反应产物粘附于玻璃上的问题，并且依次经过第一刻蚀槽、第二刻蚀槽和第三刻蚀槽的三次刻蚀，避免浸泡式刻蚀不均匀的问题。

主权项

一种玻璃减薄设备，其特征在于，包括箱体和设置于所述箱体中的喷淋装置，所述箱体中设有依次排列的第一淋洗槽、第一刻蚀槽、第二刻蚀槽、第三刻蚀槽、第二淋洗槽、第三淋洗槽、第四淋洗槽和干燥槽，所述喷淋装置包括分别位于所述第一淋洗槽、第一刻蚀槽、第二刻蚀槽、第三刻蚀槽、第二淋洗槽、第三淋洗槽和第四淋洗槽的槽底上方的第一喷淋管、第二喷淋管、第三喷淋管、第四喷淋管、第五喷淋管、第六喷淋管和第七喷淋管；所述第一淋洗槽上设置有可转动的第一盖板，所述第一刻蚀槽上设置有可转动的第二盖板，所述第二刻蚀槽上设置有可转动的第三盖板，所述第三刻蚀槽上设置有可转动的第四盖板，所述第二淋洗槽上设置有可转动的第五盖板，所述第三淋洗槽上设置有可转动的第六盖板，所述第四淋洗槽上设置有可转动的第七盖板，所述第一盖板、第二盖板、第三盖板、第四盖板、第五盖板、第六盖板和第七盖板可转动至某一方向而分别密封所述第一淋洗槽、第一刻蚀槽、第二刻蚀槽、第三刻蚀槽、第二淋洗槽、第三淋洗槽和第四淋洗槽；所述第一喷淋管、第二喷淋管、第三喷淋管、第四喷淋管、第五喷淋管、第六喷淋管和第七喷淋管分别设置于所述第一盖板、第二盖板、第三盖板、第四盖板、第五盖板、第六盖板和第七盖板上；所述第一喷淋管、第二喷淋管、第三喷淋管、第四喷淋管、第五喷淋管、第六喷淋管和第七喷淋管上均设置有多个伞形喷咀；所述第一盖板、第二盖板、第三盖板、第四盖板、第五盖板、第六盖板、第七盖板的数量分别为二；两个所述第一盖板形成所述第一淋洗槽的两个对开门；两个所述第二盖板形成所述第一刻蚀槽的两个对开门；两个所述第三盖板形成所述第二刻蚀槽的两个对开门；两个所述第四盖板形成所述第三刻蚀槽的两个对开门；两个所述第五盖板形成所述第二淋洗槽的两个对开门；两个所述第六盖板形成所述第三淋洗槽的两个对开门；两个所述第七盖板形成所述第四淋洗槽的两个对开门；所述第一喷淋管、第二喷淋管、第三喷淋管、第四喷淋管、第五喷淋管、第六喷淋管和第七喷淋管的数量为多个，多个所述第一喷淋管平行设置，多个所述第二喷淋管平行设置，多个所述第三喷淋管平行设置，多个所述第四喷淋管平行设置，多个所述第五喷淋管平行设置，多个所述第六喷淋管平行设置，多个所述第七喷淋管平行设置。