[发明专利]铁电薄膜形成用溶胶-凝胶液及铁电薄膜的形成方法在审
| 申请号： | 201410054822.8 | 申请日： | 2014-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN104058743A | 公开（公告）日： | 2014-09-24 |
| 发明（设计）人： | 土井利浩;樱井英章;曽山信幸 | 申请（专利权）人： | 三菱综合材料株式会社 |
| 主分类号： | C04B35/491 | 分类号： | C04B35/491;C04B35/624 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 康泉;宋志强 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种铁电薄膜形成用溶胶-凝胶液及铁电薄膜的形成方法。该铁电薄膜形成用溶胶-凝胶液含有PZT系化合物、含聚乙烯吡咯烷酮的粘度调整用高分子化合物及含N-甲基吡咯烷酮的有机掺杂剂，含有以氧化物换算计为17质量%以上的PZT系化合物，聚乙烯吡咯烷酮相对于所述PZT系化合物的摩尔比以单体换算计为，PZT系化合物:聚乙烯吡咯烷酮=1:0.1～0.5，所述溶胶-凝胶液中含3质量%～13质量%的N-甲基吡咯烷酮。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 形成 溶胶 凝胶 方法 | ||
【主权项】：
一种铁电薄膜形成用溶胶‑凝胶液，其特征在于，含有：PZT系化合物；含聚乙烯吡咯烷酮的粘度调整用高分子化合物；以及含N‑甲基吡咯烷酮的有机掺杂剂，含有以氧化物换算计为17质量%以上的所述PZT系化合物，所述聚乙烯吡咯烷酮相对于所述PZT系化合物的摩尔比以单体换算计为，PZT系化合物:聚乙烯吡咯烷酮=1:0.1～0.5，所述溶胶‑凝胶液中含3质量%～13质量%的所述N‑甲基吡咯烷酮。
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