[发明专利]一种超大超薄液晶显示面板化学蚀刻减薄方法

摘要

本发明提供了一种超大超薄液晶显示面板化学蚀刻减薄方法，首先对显示面板四周用UV固化胶水进行封胶保护，并洗净其表面；然后依次向密闭容器中打入浓硫酸、浓硝酸、浓盐酸及氢氟酸，加热至25～30℃，并鼓泡搅拌均匀；将混合酸液打入温度为28～32℃的蚀刻设备中，鼓泡搅拌30～60分钟；将TFT基板浸泡在混合酸液中薄化；薄化至目标厚度后，取出TFT基板，放入KOH溶液中；最后取出TFT基板，将其烘干后检验表面良率。本发明的方法过程简单，易操作，适用于各种尺寸的液晶显示面板，尤其是超大超薄液晶显示面板，采用本发明的方法薄化后的显示面板玻璃表面效果良好，一次良率超过97.5%，无需进行抛光。

主权项

一种超大超薄液晶显示面板化学蚀刻减薄方法，其特征在于，包含以下步骤：1）对来料显示面板四周用UV固化胶水进行封胶保护，并洗净显示面板表面；2）通过泵依次向密闭容器中打入浓硫酸、浓硝酸、浓盐酸及氢氟酸，在密闭容器中将混合酸液加热至25～30℃，同时鼓泡搅拌均匀；3）将混合酸液打入蚀刻设备中，蚀刻设备中的温度控制在28～32℃，持续鼓泡搅拌30～60分钟至混合均匀；4）将需要薄化的TFT基板浸泡在混合酸液中持续薄化，直至达到目标厚度；5）待TFT基板薄化至目标厚度后，将薄化后的TFT基板取出，放入KOH溶液中浸泡，中和玻璃表面的酸液。6）从KOH溶液中取出TFT基板，对其表面进行烘干处理，按照点大小CF面0.15mm，TFT面0.25mm标准检验表面良率。