[发明专利]基于多周期主从嵌套圆环正交阵列的电磁屏蔽光窗

摘要

基于多周期主从嵌套圆环正交阵列的电磁屏蔽光窗属于电磁屏蔽技术领域，由基本圆环、子圆环、次级子圆环、填充圆环、调制圆环以及调制子圆环构成多周期主从嵌套圆环阵列的金属网栅；其中，基本圆环构成二维正交外切连通阵列，调制圆环构成二维正交相离阵列，调制圆环与基本圆环外切连通，基本圆环内设有与其内切连通的子圆环和填充圆环，子圆环内设有与其内切连通的次级子圆环，调制圆环内设有与其内切连通的调制子圆环。在圆环相切连通连接处，通过线条交叠或设置保证金属环切点间可靠电联接的金属，确保所有圆环相互导电。本发明的金属网栅结构可显著降低网栅高级衍射光强分布的不均匀性，使衍射造成的杂散光分布更加均匀，对成像影响更小。

主权项

基于多周期主从嵌套圆环正交阵列的电磁屏蔽光窗，电磁屏蔽光窗中的金属网栅(5)由相同直径的金属圆环作为基本圆环(6)按二维正交排列密接排布构成二维网栅的基本结构并加载于光窗透明基片表面，且相邻基本圆环(6)外切连通，其特征在于：每个基本圆环(6)内具有与该圆环内切连通、金属的子圆环(7)，子圆环(7)内具有与该子圆环(7)内切连通的次级子圆环(8)，该子圆环(7)与其内切连通的次级子圆环(8)共同组成子单元，相邻子单元之间具有一个填充圆环(9)与两子单元中的子圆环(7)外切连通，且同时与子单元所在的基本圆环(6)内切连通，基本圆环(6)、基本圆环(6)内各子单元与填充圆环(9)共同组成二维金属网栅结构的基本单元；基本单元之间存在一个与相邻四个二维正交基本圆环(6)均外切连通的调制圆环(10)，每个调制圆环(10)具有与该圆环内切连通的调制子圆环(11)，调制圆环(10)与其内各调制子圆环(11)共同组成调制基本单元；所述的基本圆环(6)、子圆环(7)、次级子圆环(8)、填充圆环(9)、调制圆环(10)以及调制子圆环(11)的直径为毫米和亚毫米量级，所述的基本圆环(6)、子圆环(7)、次级子圆环(8)、填充圆环(9)、调制圆环(10)以及调制子圆环(11)的金属线条宽度为微米和亚微米量级；所述的外切连通包括：①两圆环外切且外切切点处设置将两圆环连通的连接金属(12)，②两圆环在连接处线条呈无缝交叠结构，③两圆环在连接处线条呈无缝交叠结构的同时，在交叠处设置将两圆环连通的连接金属(12)；所述的内切连通包括：①两圆环内切且内切切点处设置将两圆环连通的连接金属(12)，②两圆环在连接处线条呈无缝交叠结构，③两圆环在连接处线条呈无缝交叠结构的同时，在交叠处设置将两圆环连通的连接金属(12)。