[发明专利]一种超纯气体全自动高精度充装系统

摘要

本发明提出一种超纯气体全自动高精度充装系统，采用6N超纯气体全自动、高精度（质量精度优于0.5%）充装系统，包括超纯气源、超纯气体储罐、真空充装室、管路抽真空装置、真空室抽真空装置、废气回收处理装置、截止阀、加热带、制冷机、冷板、加热笼、科氏流量计、压力传感器、温度传感器、操作控制台。该系统所有管路、容器内壁均可加热除气和反复置换清洗，充装产品置于真空环境下充装以避免外部杂质气体反向渗透，保证了气体的超高纯度；通过加热控温装置及制冷装置准确控制充装系统各部分温度，保证充装管路各处压力及工质流量维持恒定，结合高测量精度的科氏流量计及全自动的充装流程最终实现了气体的高充装质量精度。

主权项

一种超纯气体全自动高精度充装系统，其特征在于：包括超纯气源、超纯气体储罐、真空充装室、管路抽真空装置、真空室抽真空装置、废气回收处理装置、加热带、制冷机、压力传感器、温度传感器；超纯气源通过补气管路与超纯气体储罐连接，并向超纯气体储罐内补充气体；超纯气体储罐通过充气管路与真空充装室连接，为真空充装室内的待充灌产品充气；管路抽真空装置的一端通过抽气管路分别连接至补气管路、超纯气体储罐、充气管路，管路抽真空装置的另一端连接至废气回收处理装置，将抽出的气体送至废气回收处理装置，并通过废气回收处理装置进行无毒化处理；真空室抽真空装置、制冷机均与真空充装室连接，为真空充装室进行抽真空处理以及控制真空充装室内温度；补气管路、超纯气体储罐、充气管路以及抽气管路均通过复压管路与废气回收处理装置连接，对各管路或容器进行置换清洗；超纯气体储罐还通过过压保护管路连接至废气回收处理装置，用于系统的超压卸载；各管路外部布置加热带和温度传感器，用于对管路进行加热除气；超纯气体储罐以及各管路上配备有用于监测状态的压力传感器；所述的复压管路中配有复压阀，所述的补气管路、抽气管路以及充气管路中配有截止阀，所述的过压保护管路中配有安全阀。