[发明专利]圆片涂胶的方法有效
| 申请号： | 201410048286.0 | 申请日： | 2014-02-11 |
| 公开（公告）号： | CN104826781B | 公开（公告）日： | 2017-02-08 |
| 发明（设计）人： | 徐春云 | 申请（专利权）人： | 无锡华润上华半导体有限公司 |
| 主分类号： | B05D5/00 | 分类号： | B05D5/00 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人： | 邓云鹏 |
| 地址： | 214028 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种圆片涂胶的方法，包括以下步骤将圆片置于涂胶设备的载片台上；设置喷胶点，从所述圆片的中心位置起沿径向设置多个喷胶点；沿径向对所述圆片的各个喷胶点进行动态喷涂。上述圆片涂胶的方法，通过对设置的多个喷胶点进行多点式的动态喷涂，能够正常全面涂覆圆片的表面，使得圆片表面没有缺胶或散花异常。 | ||
| 搜索关键词： | 涂胶 方法 | ||
【主权项】：
一种圆片涂胶的方法，包括以下步骤：将圆片置于涂胶设备的载片台上；设置喷胶点，从所述圆片的中心位置起沿径向设置多个喷胶点；所述喷胶点包括位于中心位置的第一喷胶点，位于最外侧的第四喷胶点，位于所述圆片中心与所述圆片边缘正中间的第三喷胶点，以及靠近所述第三喷胶点且位于所述第三喷胶点与所述第一喷胶点之间的第二喷胶点；沿径向对所述圆片的各个喷胶点进行动态喷涂，其中所述第四喷胶点的喷胶量为第一喷胶量，所述第一喷胶点的喷胶量为所述第一喷胶量的3倍，所述第三喷胶点的喷胶量为所述第一喷胶量的2倍，所述第二喷胶点的喷胶量为所述第一喷胶量的2倍，喷涂的过程中所述圆片的转速小于或等于30转每分钟。
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