[发明专利]一种可快速精细调节温度场空间分布的加热盘及控制方法有效
| 申请号： | 201410031142.4 | 申请日： | 2014-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN103792974A | 公开（公告）日： | 2014-05-14 |
| 发明（设计）人： | 向东;杨旺;夏焕雄;牟鹏;张瀚;王伟;刘学平 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G05D23/30 | 分类号： | G05D23/30;C23C16/52 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 张文宝 |
| 地址： | 100084 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种可快速精细调节温度场空间分布的加热盘及控制方法，属于加热盘的精细控制技术领域。在加热盘金属基体上设置若干个隔热层，隔热层将加热盘金属机体分成不同直径的环形或扇形区域；在加热盘金属基体内部、各隔热层分隔的环形或扇形区域内，分别设置若干个温度传感器、加热棒及冷却装置；由控制模块控制加热棒加热或冷却装置制冷，对温度空间分布进行精准控制，使其逼近预期温度空间分布要求。本发明通过隔热层，减小相邻区域间的热扩散效应，使得不同区域间的控制更加独立，进而通过在不同区域设置独立可控的加热与冷却装置，实现对该区域温度的双向快速调节，最终实现对温度场空间分布双向、快速、灵活及精细化的调控能力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 快速 精细 调节 温度场 空间 分布 加热 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种可快速精细调节温度场空间分布的加热盘，其特征在于，在加热盘金属基体（81）上设置若干个隔热层（83），隔热层（83）将加热盘金属基体（81）分成不同直径的环形或扇形区域；在加热盘金属基体（81）内部、各隔热层（83）分隔的环形或扇形区域内，分别设置若干个温度传感器（82）、加热棒（84）及冷却装置（86）；控制模块（85）包括温度传感器控制器（851）、加热棒控制器（852）、冷却装置控制器（853）和总控制器（854），由温度传感器（82）和温度传感器控制器（851）得到各区域温度值，再由总控制器（854）输送指令加热棒控制器（852）和冷却装置控制器（853），控制加热棒（84）加热或冷却装置（86）制冷，对温度空间分布进行精准控制，使其逼近预期温度空间分布要求。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于清华大学，未经清华大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410031142.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
