[发明专利]磁控溅射镀膜装置有效
| 申请号： | 201410029234.9 | 申请日： | 2014-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN103789739A | 公开（公告）日： | 2014-05-14 |
| 发明（设计）人： | 王鲁南;王建华;窦立峰 | 申请（专利权）人： | 南京汇金锦元光电材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 王清义 |
| 地址： | 210046 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本技术提供一种能够有效缩短抽真空时间，节约能源，提高设备有效利用率的磁控溅射镀膜装置。它包括多个真空腔体，相邻两腔体之间以隔板分隔，隔板两侧壁上开有顶端相对的v型槽，板缝开在两v型槽的顶端之间；在v型槽处设置有两个隔离条，隔离条沿着v型槽长度方向延伸，两个隔离条位于v型槽对称轴的两侧，隔离条与v型槽斜侧面相对的表面为与v型槽斜侧面相平行的斜面，两个隔离条相对的平面相互平行；在v型槽长度方向上，板缝的长度小于隔离条长度，隔离条长度小于v型槽长度；隔离条与驱动装置相连；两个隔离条在驱动装置带动下移动时，隔离条斜面与v型槽斜侧面接触并在斜侧面的导向下，两个隔离条相对移动，两个隔离条相对的平面相接触。 | ||
| 搜索关键词： | 磁控溅射 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
磁控溅射镀膜装置，包括多个真空腔体，相邻两腔体之间以隔板分隔，其特征是：隔板两侧壁上均开有v形槽，两个v形槽的顶端相对；把相邻两腔体连通的板缝开在两v形槽的顶端之间；在v形槽处设置有两个隔离条，隔离条沿着v形槽的长度方向延伸，两个隔离条位于v形槽对称轴的两侧，隔离条与v形槽斜侧面相对的表面为与v形槽斜侧面相平行的斜面，两个隔离条相对的平面相互平行；在v形槽的长度方向上，板缝的长度小于隔离条长度，隔离条长度小于v形槽长度；隔离条与驱动装置相连；两个隔离条在驱动装置带动下移动时，隔离条的斜面与v形槽的斜侧面接触并在斜侧面的导向下，两个隔离条相对移动，两个隔离条相对的平面相接触。
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