[发明专利]用于使零级减少的光学设计有效
| 申请号： | 201410024778.6 | 申请日： | 2008-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN103760682A | 公开（公告）日： | 2014-04-30 |
| 发明（设计）人： | A·施庞特 | 申请（专利权）人： | 普莱姆森斯有限公司 |
| 主分类号： | G02B27/44 | 分类号： | G02B27/44;G02B27/09 |
| 代理公司： | 北京北翔知识产权代理有限公司 11285 | 代理人： | 杨勇;郑建晖 |
| 地址： | 以色列特*** | 国省代码： | 以色列;IL |
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| 摘要： | 一种投影图样的装置（10），包括：第一衍射光学元件（DOE）（12），被配置为衍射输入光束（20），以便在表面（24）的第一区（22）产生第一衍射图样（23），第一衍射图样包括零级光束（32）。第二DOE（14），被配置为衍射零级光束，以便在表面的第二区（27）产生第二衍射图样（29），所述第一区和第二区共同至少部分地覆盖表面。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 使零级 减少 光学 设计 | ||
【主权项】：
一种投影图样的装置，包括：第一衍射光学元件，被配置为衍射输入光束，以便产生多个分立的输出光束；以及第二衍射光学元件，被配置为将衍射效应用于所述多个分立的输出光束，以便在一个表面的各个区产生相应的多个衍射图样，以使各个区共同至少部分地覆盖所述表面。
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