[发明专利]一种具有角分辨能力的共焦显微拉曼光谱仪

摘要

一种具有角分辨能力的共焦显微拉曼光谱仪，涉及拉曼光谱仪。设有显微物镜、低通滤光片、高通滤光片、反射镜、分束镜、可调光阑、准直透镜、光纤以及相应的激光光源、光谱信号检测器、照明光源和CCD摄像机；激光光源发出的光经光纤、准直透镜、高通滤光片和低通滤光片进入显微物镜，沿水平方向左右移动高通滤光片可以调整入射平行光束的位置，从而调节到达样品表面的激发光角度；第1可调光阑可以控制入射平行光束的孔径，沿水平方向左右移动反射镜可以调整出射平行光束的位置，从而调节从样品表面收集拉曼散射光的角度；第2可调光阑可以控制拉曼散射光束的孔径，同时通过照明光源、分束镜和CCD摄像机可以对样品成像。

主权项

一种具有角分辨能力的共焦显微拉曼光谱仪，其特征在于设有显微物镜、低通滤光片、高通滤光片、反射镜、分束镜、第1可调光阑、第2可调光阑、第1准直透镜、第2准直透镜、入射光纤、出射光纤、激光光源、光谱信号检测器、照明光源、CCD摄像机、第1移动平台和第2移动平台；所述低通滤光片设在显微物镜正上方光路中，低通滤光片与显微物镜的主光轴成45°角；高通滤光片和反射镜设在低通滤光片右方的光路中，高通滤光片和反射镜与光轴成45°角；在高通滤光片和反射镜上方分别设置第1可调光阑、第2可调光阑、第1准直透镜、第2准直透镜、入射光纤、出射光纤以及相应的激光光源和光谱信号检测器；激光光源发出的激光经由入射光纤的端面出射后，经第1准直透镜成为平行光束，由第1可调光阑调节光束孔径，经过高通滤光片和低通滤光片的两次反射后，由显微物镜汇聚至样品的表面，从而激发拉曼散射光；所述高通滤光片安装在第1移动平台上；入射光纤和出射光纤的端面分别位于第1准直透镜和第2准直透镜的焦点上，入射激光和收集的拉曼散射光均为平行光束；在低通滤光片的上方设有分束镜、中继镜头和CCD摄像机，分束镜与光轴成45°角，在分束镜的左方设置短波长照明光源；分束镜将照明光源发出的光反射至样品的表面进行照明；显微物镜和中继镜头将样品表面成像至CCD摄像机上。