[发明专利]一种磁控溅射镀膜机传热装置有效
| 申请号： | 201410022878.5 | 申请日： | 2014-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN103757595A | 公开（公告）日： | 2014-04-30 |
| 发明（设计）人： | 李德才;张俊辉 | 申请（专利权）人： | 北京交通大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100044 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种磁控溅射镀膜机传热装置，能将磁控溅射镀膜机基体的热量传递至散热系统。解决了镀膜过程中基体温度过高导致的薄膜质量降低。该装置是将第二外壳（11）焊接在第一外壳（5）的左端面上，通过过盈配合将永磁体（12）嵌入第二外壳（11）的凹槽内；依次将第二角接触球轴承（10）、第一隔套（2）、第二隔套（3）、第一角接触球轴承（6）、第三隔套（8）装入轴承套（4）内；将装配好的轴承套整体装入第一外壳（5）内；将铁粉（13）铺满永磁铁的左端面；最后将轴（1）装入所述的第二角接触球轴承、第一隔套、第一角接触球轴承装配后形成的内孔中，通过螺纹连接依次将第一螺母（7）、第二螺母（9）安装在轴的右端，实现轴向定位。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁控溅射 镀膜 传热 装置 | ||
【主权项】：
一种磁控溅射镀膜机传热装置，构成该装置的各部分之间的连接： 该装置是将第二外壳（11）焊接在第一外壳（5）的左端面上； 依次将第二角接触球轴承（10）、第一隔套（2）、第二隔套（3）、第一角接触球轴承（6）、第三隔套（8）装入轴承套（4）内，第一角接触球轴承（10）的左端面紧贴轴承套（4）内孔端面； 将所述的轴承套（4）、第二角接触球轴承（10）、第一隔套（2）、第二隔套（3）、第一角接触球轴承（6）、第三隔套（8）装入第一外壳（5）内； 将轴（1）装入所述的第二角接触球轴承（10）、第一隔套（2）、第一角接触球轴承（6）装配后形成的内孔中； 通过螺纹连接依次将第一螺母（7）、第二螺母（9）安装在轴（1）的右端，第一螺母（7）的左端面紧贴第二角接触球轴承（6）的右端面，第二螺母（9）的左端面紧贴第一外壳（5）的右端面，实现轴向固定； 其特征在于： 通过过盈配合将永磁体（12）嵌入所述的第二外壳（11）的凹槽内； 将铁粉（13）充满轴（1）右端面与永磁体（12）左端面所形成的间隙中。
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