[发明专利]平面镜干涉仪中动镜支撑机构扭转刚度的测量方法

摘要

本发明公开了一种平面镜干涉仪中动镜支撑机构扭转刚度的测量方法。把U型电磁铁安置于截面端平行于动镜支撑机构的位置,调节电磁铁的截面与支撑机构的气隙至0.1～0.2mm之间，测量气隙的值s。对电磁铁通电产生电磁吸力为Fe，电磁力的作用点与动镜扭转中心的距离（电磁力臂）已知为l，由此产生的电磁力转矩为：Me=Fel。动镜支撑机构绕系统质心转过倾角θ。通过激光干涉仪测量倾角θ。回复力产生的转矩为：Mr=kτθ，kτ为扭转刚度。整个系统处于转矩平衡状态：Me=Mr，即Fel=kτθ。计算得kτ=Fel/θ。本系统实现了非接触式测量，保证了测量可靠性。

主权项

一种平面镜干涉仪中动镜支撑机构扭转刚度的测量方法，其特征在于包括如下步骤：1）把U型电磁铁安置于截面端平行于动镜支撑机构的位置,调节电磁铁的截面与支撑机构的气隙至0.1～0.2mm之间，测量并记录该气隙的值s；2）测量并记录电磁铁的直流电阻值R；3）对电磁线圈施加驱动电压V时，产生电磁吸力为Fe，Fe正比于V²，设Fe=KV²，K为已知常数，记录V的值；4）测量电磁力的力臂即作用点与动镜扭转中心的距离为l，由此产生的相应的电磁力转矩Me，计算为：Me=fel；5）动镜支撑机构在电磁力矩的作用下绕系统质心发生扭转，转过微小倾角θ，通过激光干涉仪测量并记录倾角θ；6）扭转刚度kτ计算：kτ=Me/θ。