[发明专利]一种测试版图中数字标记的设计方法有效
| 申请号： | 201410014345.2 | 申请日： | 2014-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN104778287B | 公开（公告）日： | 2018-02-06 |
| 发明（设计）人： | 樊强 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G06F17/50 | 分类号： | G06F17/50 |
| 代理公司： | 北京市磐华律师事务所11336 | 代理人： | 董巍,高伟 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种测试版图中数字标记的设计方法，包括步骤（a）首先直接定义非关键层数字标记，其中所述非关键层数字标记具有较大的长度和宽度；步骤（b）在所述非关键层数字标记区域中插入多个关键层的虚拟图案，以形成可辨识的关键图层数字标记。本发明为解决现有技术中存在的数字标记特殊图案引起制程缺陷的问题，提供了一种全新的版图数字标记设计方法。所述数字标记设计方法通过非关键层定义数字标记，然后在数字标记区域中填充普遍存在的关键层虚拟图案（universally existed dummy）来形成可辨识的均匀的包括所有物理图层的数字标记。通过所述设置可以在整个版图中获得更加均匀的图案。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测试 版图 数字 标记 设计 方法 | ||
【主权项】：
一种测试版图中数字标记的设计方法，包括：步骤(a)首先直接定义非关键层数字标记，其中所述非关键层数字标记具有较大的长度和宽度；步骤(b)在所述非关键层数字标记区域中插入多个关键层的虚拟图案，以形成可辨识的关键图层数字标记。
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