[发明专利]激光光路自动准直装置

摘要

本发明属于激光准直技术领域，公开了一种激光光路自动准直装置。该装置包括沿激光光束前进方向依次设置的一组0°凹反透镜、45°全反镜、调焦望远镜、分束镜、透镜a及透镜b，该装置还包括CCD探头a、CCD探头b、计算机及控制器。该装置具有空间分辨能力好、精度高、能够实现自动化控制的优点。

主权项

激光光路自动准直装置，其特征在于，该装置包括沿激光光束前进方向依次设置的一组0°凹反透镜、45°全反镜、调焦望远镜、分束镜、透镜a及透镜b，该装置还包括CCD探头a、CCD探头b、计算机及控制器；所述0°凹反透镜的个数与激光束的束数相对应，激光束经整形后同时到达相应的0°凹反透镜上，并且每个0°凹反透镜都位于一个电动调节镜架上，电动调节镜架位于靶室的正前方；0°凹反透镜成正多边形分布，每束激光从0°凹反透镜到靶片的入射角度一致；所述45°全反镜位于靶室与成正六边形分布的0°凹反透镜中轴线上，每束激光束打到靶片上以后以入射光线的形式反射到45°全反镜上，45°全反镜上的反射光线垂直进入调焦望远镜；靶片、45°全反镜及调焦望远镜的中心高度一致；所述分束镜位于调焦望远镜后方，并垂直于靶片叉丝与调焦望远镜叉丝的连线，调焦望远镜去掉目镜，使得靶片上的焦斑通过调焦望远镜成像于分束镜，所分两束光分别经过透镜a和透镜b，成像到CCD探头a和CCD探头b上；CCD探头a和CCD探头b的输出信号分别传输至计算机上进行分析；所述计算机分别与CCD探头a、CCD探头b及控制器通过数据线连接，由计算机对CCD探头a及CCD探头b的输出信号进行分析，再把调整信号发送给控制器，由控制器控制电动调节镜架进行旋转和俯仰移动，使每束激光束都聚焦于靶片的中心位置。