[发明专利]一种用于等离子体电源的恒流控制方法有效

专利信息
申请号: 201410001965.2 申请日: 2014-01-02
公开(公告)号: CN103762845A 公开(公告)日: 2014-04-30
发明(设计)人: 陈桂涛;刘春强;孙强;钟彦儒 申请(专利权)人: 西安理工大学
主分类号: H02M3/28 分类号: H02M3/28;H05H1/24
代理公司: 西安弘理专利事务所 61214 代理人: 李娜
地址: 710048*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明公开了一种用于等离子体电源的恒流控制方法,将实际电压uc一路通过开环导纳Yo(s)后输入加法器M3,将实际电压uc另外一路进入前馈控制器Gf(s);从加法器M3的输出引出的反馈信号通过采样传递函数Hi(s)后与期望电流值iref一同输入加法器M1中,从加法器M1输出的信号经过反馈控制器Gir(s)后与前馈控制器Gf(s)输出的信号一同输入加法器M2中,从加法器M2的输出信号依次经过载波传递函数Gpwm(s)和控制到电感电流的传递函数Gid(s)处理后进入加法器M3中,从加法器M3最后输出实测电流值iL。本发明方法能够降低电压uc和电感电流iL之间的导纳,迅速抑制等离子负载扰动对控制的影响。
搜索关键词: 一种 用于 等离子体 电源 控制 方法
【主权项】:
一种用于等离子体电源的恒流控制方法,其特征在于,将实际电压uc一路通过开环导纳Yo(s)后输入加法器(M3),将实际电压uc另外一路进入前馈控制器Gf(s);从加法器(M3)的输出引出的反馈信号通过采样传递函数Hi(s)后与期望电流值iref一同输入加法器(M1)中,从加法器(M1)输出的信号经过反馈控制器Gir(s)后与前馈控制器Gf(s)输出的信号一同输入加法器(M2)中,从加法器(M2)的输出信号依次经过载波传递函数Gpwm(s)和控制到电感电流的传递函数Gid(s)处理后进入加法器(M3)中,从加法器(M3)最后输出实测电流值iL
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