[发明专利]在母材的表面通过掩模形成凸起的方法及装置在审
| 申请号： | 201380077204.9 | 申请日： | 2013-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN105378137A | 公开（公告）日： | 2016-03-02 |
| 发明（设计）人： | 李相老;罗钟周;朴明渐;金明根;金允焕;徐在亨;岳昕;李智英 | 申请（专利权）人： | SEP株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/34;C23C16/04;C23C16/44 |
| 代理公司： | 北京冠和权律师事务所 11399 | 代理人： | 朱健;陈国军 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种通过掩模形成凸起的方法及装置，更为详细地，涉及一种通过掩模形成凸起的方法，其包括：掩模形成步骤，在母材上形成掩模层；蚀刻步骤，对母材上未形成掩模的区域进行蚀刻；以及掩模去除步骤，去除所述掩模层，并且所述掩模形成步骤包括：至少形成一个以上的小型掩模的步骤，以及至少形成一个以上的大型掩模的步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 通过 形成 凸起 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种通过掩模形成凸起的方法，其包括：掩模形成步骤，在母材上形成掩模层；蚀刻步骤，对母材上未形成掩模的区域进行蚀刻；以及掩模去除步骤，去除所述掩模层，所述掩模形成步骤包括：至少形成一个以上的小型掩模的步骤，以及至少形成一个以上的大型掩模的步骤。
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