[发明专利]用于高频率操作的光电器件的多光束阵列的微透镜

摘要

一种由电触头上的凸起的VCSEL的单片阵列和连接至电触头的凸起的非活动区形成的VCSEL阵列器件。VCSEL可以以提高功率或速度的方式对称地或不对称地间隔开或者同相位地且平行地间隔开。凸起的VCSEL和凸起的非活动区被设置在电触头与电波导之间。VCSEL可以被分成子阵列，并且每个VCSEL可以被覆盖有用于对光进行定向的集成或接合的微透镜而没有外部透镜。可以偏移微透镜以收集光或者对光进行准直，并且可以使微透镜成形为形成各种透镜轮廓。

主权项

1.一种光学设备，包括：单片激光器阵列，所述激光器阵列包括多个垂直腔面发射激光器VCSEL器件和电触头上的多个凸起的非活动区，所述多个VCSEL器件以一图案布置在所述激光器阵列的基底上，所述多个VCSEL器件中的每一个均产生具有轴的光束；在所述基底内形成的多个折射型微透镜，所述多个折射型微透镜中的每个折射型微透镜位于相应VCSEL器件上方，每个折射型微透镜将由所述相应VCSEL器件发射的光束定向到目标或者用于扫描，而不需要所述激光器阵列外部的光学元件对用于照射所述目标的光进行准直或聚集，其中，所述多个折射型微透镜中的两个或更多个折射型微透镜从所述相应VCSEL器件的轴偏移使所述光束针对所述目标会聚或发散或者用于扫描所必需的距离，以及其中，所述距离基于所述光束的期望角偏差；以及用于向所述激光器阵列供电的驱动器电路，其中，所述驱动器电路可操作来调制所述VCSEL以用于数据通信，其中，所述图案包括VCSEL器件的两个或更多个子阵列，其中所述两个或更多个子阵列中的每个子阵列由所述驱动器电路独立地供电和调制以用于操作，并且其中，每个子阵列的所述相应VCSEL器件的所述折射型微透镜被设置为一组，以用于将来自每个子阵列的子阵列光束定向到所述目标或者用于扫描。