[发明专利]带有包含用于照明受试主题的固定图案光学部的图案移动装置的便携式结构光测量模块/设备

摘要

一种用于受检主题的3D图像获取的表面测量模块。模块具有：(a)壳体，其容纳具有固定图案光学部的图案移动装置，来自光源的光通过所述固定光学部，在偏振分束器上引导所述图案移动装置的输出，通过包括至少一个透镜元件的镜头组件引导所述分束器的偏振输出；(b)反射器，其引导离开镜头组件的偏振输出以照明受检主题的表面；(c)散射光照明装置，其通过镜头组件被远离表面反向引导，用于通过图像传感器捕获；(d)壳体，其还容纳偏振分束器、镜头组件和图像传感器。固定图案光学部的输出包括多频图案。图案移动装置可以是线性或旋转类型。

主权项

1.一种用于受检主题的3D图像获取的表面测量模块，所述模块包括：(a)壳体，其容纳图案移动装置，在偏振分束器上引导来自所述图案移动装置的输出，所述输出包括由表示来自光源的光的至少第一叠加正弦曲线和第二叠加正弦曲线组成的多个像素的多频图案；(b)其中，来自所述多个像素的每个像素由第一正弦曲线和第二正弦曲线组成，所述第一正弦曲线具有第一频率，所述第二正弦曲线具有与第一频率不同的第二频率；(c)通过包括至少一个透镜元件的镜头组件引导所述分束器的偏振输出；(d)反射器，其引导离开所述镜头组件的所述偏振输出，以照明受检主题的表面；(e)散射光照明装置，远离所述表面被反向引导到所述反射器并且然后通过所述镜头组件，用于通过图像传感器捕获；(f)所述壳体，其还容纳所述偏振分束器、所述镜头组件和所述图像传感器；(g)其中，所述图案移动装置包括具有固定至衬底支撑部的所述多频图案的固定图案光学部；以及(h)其中，所述多频图案被固定至所述衬底支撑部使得在投影至所述受检主题的表面期间，所述固定图案光学部的输出具有半色调特性。