[发明专利]热启动和投影平版印刷系统和方法在审

专利信息
申请号: 201380068718.8 申请日: 2013-10-15
公开(公告)号: CN104903793A 公开(公告)日: 2015-09-09
发明(设计)人: 查德·A·米尔金;廖兴;基思·A·布朗;刘国良;阿布林·L·施穆克尔;何舒;沈伍扬;丹尼尔·J·艾歇尔斯德费尔;波利斯·拉西 申请(专利权)人: 西北大学
主分类号: G03F7/00 分类号: G03F7/00;G03F7/16;G03F7/207;G03F9/02
代理公司: 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 代理人: 康泉;宋志强
地址: 美国伊*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 根据本公开的实施例,一种图案化方法可以包括将图像分为帧部分组;通过所述帧部分组中的每个帧部分中的尖端阵列中的每个尖端,来确定要被图案化的图像的相应部分的尖端图案;将所述尖端阵列设置在基板的第一区位中的图案化位置,所述第一区位与基板的其中所述帧部分组中的第一帧部分要被图案化的区位对应;将辐射的第一图案投射到所述尖端阵列上以选择性地照射所述尖端阵列的一个或多个尖端并图案化所述基板,其中辐射的第一图案与所述第一帧部分的尖端图案对应;将尖端阵列设置在基板的第二区位中的图案化位置,所述第二区位与基板的其中帧部分组中的第二帧部分要被图案化的区位对应;将辐射的第二图案投射到所述尖端阵列上,以选择性地照射所述尖端阵列的尖端并图案化所述基板,其中辐射的第二图案与所述第二帧部分的尖端图案对应;以及针对所述帧部分组中的每个帧部分重复所述放置和投射以图案化所述图像。
搜索关键词: 启动 投影 平版印刷 系统 方法
【主权项】:
一种图案化的方法,包括:将图像分为帧部分组;通过所述帧部分组的每个帧部分中的尖端阵列中的每个尖端,来确定要被图案化的图像的相应部分的尖端图案;将所述尖端阵列设置在所述基板的第一区位中的图案化位置,所述第一区位与所述基板的其中所述帧部分组中的所述第一帧部分要被图案化的区位对应;将辐射的第一图案投射到所述尖端阵列上,以选择性地照射所述尖端阵列的一个或多个尖端并图案化所述基板,其中辐射的所述第一图案与用于所述第一帧部分的尖端图案对应;将所述尖端阵列设置在所述基板的第二区位中的图案化位置,所述第二区位与所述基板的其中所述帧部分组中的所述第二帧部分要被图案化的区位对应;将辐射的第二图案投射到所述尖端阵列上,以选择性地照射所述尖端阵列的尖端并图案化所述基板,其中辐射的所述第二图案与用于所述第二帧部分的尖端图案对应;以及针对所述帧部分组中的每个帧部分重复所述放置和投射以图案化所述图像。
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