[发明专利]激光加工装置和激光加工方法

摘要

本发明消除在激光加工的加减速区域中激光脉冲的间距和直径发生变化的情况来谋求加工品质的提高。本发明的激光加工装置的特征在于，包含激光脉冲振荡单元，对固定周期的激光脉冲串进行振荡；光指向单元，能对从激光脉冲振荡单元输出的激光脉冲串进行光接收并使激光脉冲串中的激光脉冲选择性地指向用于加工的方向；光学系统，对来自光指向单元的激光脉冲进行光接收并向被加工物照射；对载置被加工物的工作台进行驱动的单元；规定移动量检测单元，周期性地检测工作台的规定量的移动；控制单元，在规定移动量检测单元检测到规定的移动量之后，对光指向单元进行控制，以使从激光脉冲振荡单元输出的激光脉冲串中的激光脉冲指向加工方向。

主权项

一种激光加工装置，其特征在于，包含：激光脉冲振荡单元，对固定周期的激光脉冲进行振荡；光指向单元，按所述激光脉冲的每一个指向在被加工物的加工中使用的加工方向或在加工中不使用的非加工方向的任意一个；光学系统，对在该光指向单元中指向所述加工方向的激光脉冲进行光接收并向被加工物照射；对载置所述被加工物的工作台进行驱动的单元；规定移动量检测单元，周期性地检测所述工作台的规定量的移动；以及控制单元，对所述光指向单元进行控制，使得在该规定移动量检测单元检测到规定的移动量的时间点，使从所述激光脉冲振荡单元输出的激光脉冲指向所述加工方向，在所述规定移动量检测单元未检测到规定的移动量的期间，使从所述激光脉冲振荡单元输出的激光脉冲指向所述非加工方向。