[发明专利]单体、包含此单体的硬屏蔽组成物及使用此硬屏蔽组成物形成图案的方法有效
| 申请号： | 201380059507.8 | 申请日： | 2013-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN104812729B | 公开（公告）日： | 2017-05-10 |
| 发明（设计）人： | 金润俊;权孝英;金惠廷;李忠宪;赵娟振;崔有廷 | 申请（专利权）人： | 第一毛织株式会社 |
| 主分类号： | C07C39/12 | 分类号： | C07C39/12;C07C39/04;G03F7/004 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司11205 | 代理人： | 陶敏,臧建明 |
| 地址： | 韩国庆尙北道龟尾市*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及硬屏蔽组成物用单体、包含此单体的硬屏蔽组成物及使用此硬屏蔽组成物形成图案的方法。该硬屏蔽组成物用单体以下列化学式1表示，其耐热性及耐蚀刻性与对溶剂的可溶性、间隙填充特征及平坦化特征可被确保。[化学式1]于化学式1，A1至A3、X1至X3、L1、L2、n及m是与说明书中所述的相同。 | ||
| 搜索关键词： | 单体 包含 屏蔽 组成 使用 形成 图案 方法 | ||
【主权项】：
一种硬屏蔽组成物用单体，其是以下列化学式1表示：[化学式1]其中，于所述化学式1，A1至A3每一个独立地是选自下列组群1的经取代或未经取代的环状基团，X1至X3每一个独立地是羟基基团，L1及L2每一个独立地是单键，n是2或3，且m是1，[组群1]
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